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      便攜式傅里葉紅外氣體分析儀

      描述:便攜式傅里葉紅外氣體分析儀廣泛用于半導體生產工藝控制和監控,氣體純度和組成分析,環境有毒有害氣體監視和工業尾氣監視。 MultiGas 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀能分析含有高達40%水的氣流,能同時分析和顯示多達30種氣體。分析儀儲存了校準光譜,故出了氣體筒的成本。另外,操作者也會發現MultiGas 6030傅利葉變換紅外光譜分析儀操作簡便,易于維護。

      更新日期:2022-07-22
      產品型號:MKS MultiGas 6030
      廠商性質:經銷商
      詳情介紹
      品牌MKS/美國產地類別進口
      應用領域醫療衛生,環保,化工,能源,電子

      便攜式傅里葉紅外氣體分析儀,高光通量取樣單元,專業分析軟件及獨立的定量光譜庫組成。 MultiGas 6030收集高分辨率的紅外光譜與定量光譜庫分析,提供絕大多數氣體及水蒸氣的高精度,高靈敏度測量。


      特點和優點
      10ppb-100%靈敏度對于絕大多數有毒有害氣體
      易于移動從一處移到另一處,設置僅需幾分鐘
      同時分析和顯示多達30種氣體
      分析儀儲存了校準光譜,省去了氣體筒的成本
      取樣氣體在進入分析室前加熱并維持恒定溫度

      應用
      煙囪監測器
      工藝監測改進和優化

      空氣環境分析
      線性檢測器,確保所有分析儀
      維持在相同的校準條件下頻率和分辨率診斷,確保校準恒定
      提供自動溫度和壓力補償以確保分析精度
      用戶操作簡便軟件界面,稍加培訓即可操作
      氣體純度分析 燃燒排放監測 選擇性硅整流催化還原性能監測




      光譜分析
      Multigas的分析器有個具有定量和多功能的分析軟件,它能同時分析和報道許多混合物的濃度,這個能在個人電腦上運行的軟件,能對分析器直接量測到的氣體溫度和壓力的變化進行自動修正。樣本的收集和分析在一秒內完成,進行瞬時分析


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      便攜式傅里葉紅外氣體分析儀規格

      分析儀主機
      測試技術 傅利葉變換紅外光譜
      可測試氣體或水蒸氣 絕大多數分子除了氮氣,氧氣和氫氣
      范圍 濃度從10ppb到100%
      傅利葉變換紅外 2102制成傅利葉變換紅外
      光譜分辨率 0.5 - 128cm-1
      掃描速度 每秒1次在0.5cm-1
      掃描時間 1 – 300秒
      紅外源 碳化硅在1200℃
      參考激光 氦氖( 15798.2cm-1)
      檢測器 液氮冷卻MCT或半導體制冷冷卻MCT(汞-鎘-碲化物)
      清潔(Purge)壓力 最大20PSI(1.5bar)
      光譜室Purge流量 0.2升/分,干燥氮氣或露點在-70℃以下無二氧化碳的
      干燥空氣
      光學系統Purge流量 0.2升/分,干燥氮氣或露點在-70℃以下無二氧化碳的
      干燥空氣
      壓力傳感器 MKS Baratronò 電容式薄膜壓力傳感器
      Purge連接 Swagelokò 快速接頭
      電腦要求 臺式或筆記本電腦帶Intel奔騰ò處理器,微軟Wingdowsò
      XP操作系統, 1024 X 768顯示
      通訊口 RJ-45交叉以太網
      輸出選件 XML,模擬, AK,其他
      尺寸 445mm寬 X 318mm高 X 648mm深
      安裝 可安裝于19英寸標準機柜
      電源 110V或220V, 50/60hz, 3A
      重量 50公斤
      分析儀采樣參數
      采樣溫度 室溫至200℃(取決于校準溫度)
      采樣速流 0.2 – 10升/分
      采樣壓力 0.01 – 4大氣壓(取決于校準壓力)
      分析儀氣體室
      結構 鍍鎳鋁,或316不銹鋼焊接選件
      接頭 Swagelokò或VCRò
      采樣壓力 1個大氣壓(取決于校準壓力)
      管道 加熱不銹鋼
      鏡 鋁襯底鎳板,鍍金
      窗口 KBr﹔CaF2, ZnSe(其他可選)
      “O"型密封圈 Vitonò, (其他可選)

      5.11米氣室, MCT檢測器在0.5cm-1分辨率下,下列典型氣體低檢測數據為:

      名稱

      分子式

      20/20?氣室, 5分鐘檢測
                 時間下的檢測值

      20/20?氣室, 1秒鐘檢測時
                 間下的檢測值

      氨氣

      NH3

      30ppb

      0.5ppm

      二氧化碳

      CO2

      12ppb

      0.2ppm

      一氧化碳

      CO

      72ppb

      1.2ppm

      甲醛

      H2CO

      36ppb

      0.6ppm

      氯化氫

      HCl

      87ppb

      1.5ppm

      甲烷

      CH4

      36ppb

      0.6ppm

      二氧化氮

      NO2

      24ppb

      0.4ppm

      氧化氮

      NO

      210ppb

      3.6ppm

      氧化二氮

      N2O

      30ppb

      0.5ppm

      四氟化硅

      SiF4

      10ppb

      0.15ppm

      二氧化硫

      SO2

      36ppb

      0.6ppm

      四氟化碳

      CF4

      2.5ppb

      40ppb

      二甲苯磺

      C8H10

      60ppb

      1.0ppm






       

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